请教: LED厂房清洗车间洁净度偏高
jackie3377
jackie3377 Lv.3
2011年07月05日 14:47:15
只看楼主

请教各位大哥帮忙基本条件如下:LED新建厂房 芯片清洗车间。1.空调设计为 MAU+RCU+HEPA MAU采用初效+中效(初效G4 90%+中效滤网F7 70%-80%) RCU里面放有高效. 送风口是HEPA 2.MAU新风量:8553CMH 3.RCU风量: RCU:12000CMH4.HEPA风量:2000CMH*8=16000CMH 5.排气风量:合计7312CMH6.换气次数:12000/(11.9*5.4*2.8)=12000/180=66次

请教各位大哥帮忙
基本条件如下:
LED新建厂房 芯片清洗车间。
1.空调设计为 MAU+RCU+HEPA
MAU采用初效+中效(初效G4 90%+中效滤网F7 70%-80%)
RCU里面放有高效.
送风口是HEPA
2.MAU新风量:8553CMH
3.RCU风量: RCU:12000CMH
4.HEPA风量:2000CMH*8=16000CMH
5.排气风量:合计7312CMH
6.换气次数:12000/(11.9*5.4*2.8)=12000/180=66次
7.正压换气:(8553-7312)/(11.9*5.4*2.8)=1241/180=6.8次/H

以上无论从换气次数,还是正压都达到了1000级无尘室的设计标准,但是量测洁净度就是超标:2000-20000.
请前辈们或有LED经验的高人指导。
谢谢!
免费打赏
dztt88
2011年07月05日 22:05:59
2楼
以前我也碰到过这种相似的情况,那是玻璃基板的清洗工序洁净度超标几倍。最后找到原因是排风问题和工艺用的压缩空气造成的。
回复
jackie3377
2011年07月06日 11:34:02
3楼


压缩空气用的是DA
排气问题能帮忙说仔细点吗?
回复
crazy_123456
2011年07月06日 13:41:33
4楼
童孩,你的RCU+MAU风量=HEAP风量么?好像HEAP数量计算错了~
回复
crazy_123456
2011年07月06日 13:45:59
5楼
检测通不过原因存在多方面,设计问题、设备质量、安装工艺、现场条件……都可能造成不达标,排除法逐一检查~
回复
jackie3377
2011年07月06日 15:54:02
6楼


RCU是设备参数 ,hepa是设备参数。
mau是量测计算出来的.
回复
crazy_123456
2011年07月06日 17:07:27
7楼
传个系统示意图,标上数据大家来瞅瞅么~
回复
zxiaowuz
2011年07月06日 20:11:47
8楼
以上提供的数据是你们的设计参数吧..
建议查一下各设备的运行状态.
另外,再查一下高效的安装情况,是否没装好.

另外关于风量,车间的送风量应该就是RCU的风量.
回复
jackie3377
2011年07月07日 11:32:17
9楼

车间密封刚刚重新检查施作。正压大概9-12pa
RCU mau 运转正常。
HEPA刚刚换的新的,hepa正中央圆孔测的落尘几乎没有。hepa四周百叶测0.5um 在2000左右。做了漏风测试及清洁之后2000

今天下午 检查下rcu后端到 hepa前端的风管 是否有泄漏 或什么的
回复
鸭江绿水
2011年07月07日 20:01:49
10楼

应该将高效送风口围住检测。你检测的数值很可能是送风射流引起的。
回复
jackie3377
2011年07月08日 08:04:02
11楼


谢谢提供,这个资讯非常重要。
回复

相关推荐

APP内打开