芯片厂,漂片工序,千级。今天发现0.5UM颗粒达到几十万,最好时有二百,测高效无泄漏。房间无泄漏,送风量,压力均符合要求。设备也没发现泄漏。查了一天没有找到原因,想各位大侠求救。
芯片厂,漂片工序,千级。今天发现0.5UM颗粒达到几十万,最好时有二百,测高效无泄漏。房间无泄漏,送风量,压力均符合要求。设备也没发现泄漏。查了一天没有找到原因,想各位大侠求救。
2楼
检查一下洁净室的卫生做好了没有。
如果都没有问题,你就要看看你的仪器本身是不是有问题了,或者接管接错了。
我刚毕业时就有把取样管接到自净口的经历。结果搞得总是测不合格。
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3楼
卫生已反复打扫。仪器正常。我有两台,在别的房间测试正常。
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4楼
先在高效风口下面测,看是否高效滤芯坏了
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5楼
查一下,你的洁净室有没有水雾一类的东西散发出来,有一个厂的千级无尘室超标,让我们去看原因,我过去看的时候看到他们因为室内湿度低,放了一台超市里卖的加湿器在里面,我开始没留意,后来发现就是这个东西在作怪,在加湿器旁边很容易测出几十万的数据来,关掉了就没事了。
还有我见过的另一个原因就是焊接,你那里面有焊接作业吗?那焊接产生的烟雾可不得了啊,一个地方焊接,旁边环境的尘粒数量飙升。虽然在旁边做了排烟,但是形同虚设,一点用都没。
如果还是找不到原因,你测试一下空态看看。分析一下工艺吧。
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6楼
注意排查各粒径的粒子特征,是否其他的粒径粒子也超标;根据数量异常的粒子粒径可进一步结合现场条件判断出是HEPA泄漏还是房间有发尘源。
仪器和测法正常的情况下:
如果大粒径明显持续超标就很大可能意味着HEPA的泄漏;
而只有小粒径的明显异常一般不要考虑HEPA泄漏,主要考虑室内人为或工艺异常而产生的尘埃!
基于你的描述,洁净室管制是否严格一般应该予以重点考虑:保洁是否到位、藏污纳垢处是否存在死角、人员更衣管制是否严格。同时工艺条件(人流物流、工艺辅料)是否与原来有明显变化;系统回排风是否异常;送风量是否有明显衰减……都排查一下。
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7楼
我觉得是HEPA安装泄漏的因素比较多一些。
有试过天花开孔较大没做好密封的案例。
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