请教: LED厂房清洗车间洁净度偏高
jackie3377
jackie3377 Lv.3
2011年07月05日 14:47:15
只看楼主

请教各位大哥帮忙基本条件如下:LED新建厂房 芯片清洗车间。1.空调设计为 MAU+RCU+HEPA MAU采用初效+中效(初效G4 90%+中效滤网F7 70%-80%) RCU里面放有高效. 送风口是HEPA 2.MAU新风量:8553CMH 3.RCU风量: RCU:12000CMH4.HEPA风量:2000CMH*8=16000CMH 5.排气风量:合计7312CMH6.换气次数:12000/(11.9*5.4*2.8)=12000/180=66次

请教各位大哥帮忙
基本条件如下:
LED新建厂房 芯片清洗车间。
1.空调设计为 MAU+RCU+HEPA
MAU采用初效+中效(初效G4 90%+中效滤网F7 70%-80%)
RCU里面放有高效.
送风口是HEPA
2.MAU新风量:8553CMH
3.RCU风量: RCU:12000CMH
4.HEPA风量:2000CMH*8=16000CMH
5.排气风量:合计7312CMH
6.换气次数:12000/(11.9*5.4*2.8)=12000/180=66次
7.正压换气:(8553-7312)/(11.9*5.4*2.8)=1241/180=6.8次/H

以上无论从换气次数,还是正压都达到了1000级无尘室的设计标准,但是量测洁净度就是超标:2000-20000.
请前辈们或有LED经验的高人指导。
谢谢!
crj1314520
2011年07月08日 09:19:38
12楼
洁净度超标问题大多是在:清洗用水 气 问题上,
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jackie3377
2011年07月08日 11:11:40
13楼


刚刚去现场量测。
天花板下方(HEPA口正下方)全部超过2000
所以楼上说法正确,应该是射流。因为已经做了密封和泄漏测试.
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zht2004
2011年07月08日 14:35:24
14楼
首先澄清,你的洁净度是超标而不是偏高。
再者,你的HEPA过滤效率式哪个级别的?
我们讨论半天,要是因为你过滤器本身效率达不到要求,不是白忙乎了。
你HEPA安装后完整性测试做了吗?
HEPA下方测试数据本身超标没有?

我现在怀疑你的HEPA本身有问题。
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zht2004
2011年07月08日 14:37:06
15楼
还有你们的气体动力,居然用DA,为什么不用CDA??
建造成本和运行维护成本差异不大吧。
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dztt88
2011年07月08日 19:16:37
16楼

同意观点,建议楼主关闭清洗的风刀呀什么的再测测,如果是水汽造成的,只有调整工艺参数或加大排气了。
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jackie3377
2011年07月13日 12:33:24
17楼


里面有有机排气 酸排(盐酸)
各位有建议吗?
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wu331627852
2012年02月24日 15:51:57
18楼
学习
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lihuajiancn
2012年02月24日 20:10:44
19楼
这个问题考虑到没?
你运行状态测试动态,60次换气标准是静态。
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