制程排气系统设计
newage83
Lv.4
2008年03月13日 22:43:31
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大气治理
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请问关于半导体洁净厂房制程排气系统的设计, 有什么推荐的教材,设计手册,或者学习资料吗? 目前我也找了一些,但是比较分散,没有系统的学习,希望知道的前辈推荐一下.
请问关于半导体洁净厂房制程排气系统的设计, 有什么推荐的教材,设计手册,或者学习资料吗?
目前我也找了一些,但是比较分散,没有系统的学习,希望知道的前辈推荐一下.
wufeijun83
2008年06月28日 20:07:29
2楼
把你找的传上来分享下，如果不介意发到我QQ：95479773，
多谢，
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fm-darrenliu
2009年03月06日 16:41:04
3楼
如果有这一块技术的朋友,请将资料也发给我一份.
邮箱:FM-darren@163.com
谢谢
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sanry0123.163.com
2013年05月31日 13:24:29
4楼
如果有资料的朋友，也请发我一份啊。。、
email：
sanry0123@163.com
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