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Process Exhaust System Damper Selection
求教,风阀选择需要考虑哪些技术指标,比如扭矩等参数,如何计算.谢谢. 补充一下,包括电动/气动阀门的选择 感谢您的回复先! 本帖最后由 newage83 于 2008-7-13 10:56 编辑 ]
制程排气系统设计
请问关于半导体洁净厂房制程排气系统的设计, 有什么推荐的教材,设计手册,或者学习资料吗? 目前我也找了一些,但是比较分散,没有系统的学习,希望知道的前辈推荐一下.
半导体洁净厂房制程排气系统设计
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