半导体洁净厂房制程排气系统设计
newage83
Lv.4
2008年03月13日 22:41:50
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洁净空调系统
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请问关于半导体洁净厂房制程排气系统的设计, 有什么推荐的教材,设计手册,或者学习资料吗?目前我也找了一些,但是比较分散,没有系统的学习,希望知道的前辈推荐一下.
请问关于半导体洁净厂房制程排气系统的设计, 有什么推荐的教材,设计手册,或者学习资料吗?
目前我也找了一些,但是比较分散,没有系统的学习,希望知道的前辈推荐一下.
whwfei
2008年03月17日 23:42:32
2楼
FAB厂房主要是看业主给的参数要求了，设计计算和一般排风区别不大
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hhnec
2008年03月19日 20:49:17
3楼
关于半导体洁净厂房制程排气系统的设计，有个专业的论坛有这方面的资料，建议去看看：
http://fac.2ic.cn
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newage83
2008年03月19日 22:47:42
4楼
谢楼上的,半导体技术天地以前有看到过,但是后来进不去所以就忽略了,现在又进去了...
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luizs@co163
2008年03月20日 15:33:20
5楼
具体问题具体分析.
工艺排风主要是分类,再来是选好处理设备,再次要计算好系统压损,末了就是配合环保方向决定烟囱的高度.
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