洁净室综合性能检测方法

一、过滤器检漏(使用仪器：检漏仪和尘埃离子计数器）

１.对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行

过滤器安装边框和全断面检漏。扫描法有检漏仪法（光度计法）和

采样量最小为１Ｌ/ｍｉｎ的粒子计数器法两种。对于超高效过滤器，

扫描法有凝结核计数器法和激光粒子计数器法两种。

２?检漏仪法检漏

（１）被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的８０％～

１２０％之间运行。

（２）在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情

况下，宜用每次只暴露１台过滤器的方法进行测定。

（３）当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了

对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方

支干管中引入检漏用气溶胶，立即在受检过滤器的正前方测定上

风侧浓度。

（４）对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气

溶胶浓度应超过仪表最小刻度的１０４倍；当检漏仪表为线性刻度

时，上风侧气溶胶浓度需达到８０～１００μｇ/Ｌ。检漏仪表应具有

０.0０１～１００μｇ/Ｌ的测量范围。

３?粒子计数器法检漏

（１）被检过滤器必须已测过风量，在设计风速的８０％～１２０％

之间运行。

（２）在被检高效过滤器上风侧测定大气尘的微粒数，以大于

或等于０.５μｍ微粒为准，其浓度必须大于或等于３.５×１０４粒/Ｌ；

若检测超高效过滤器，则以大于或等于０.１μｍ微粒为准，其浓度

必须大于或等于３.５×１０６～３.５×１０７粒/Ｌ。

（３）若上风侧浓度不符合上项规定，则应引入不经过滤的空

气，如果还达不到规定，则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器

法检漏。

４检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面２～３ｃｍ处，以

５～２０ｍｍ/ｓ的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶和安装

框架处进行扫描。