产生臭氧的主要原料气为氧气，一般气源都采用洁净空气、氧气以及含有氧和其他惰性气体的混合气体，因此气源中的含氧量、气源的流量、气源的露点，气源中的杂质含量等因素都直接影响臭氧产量
　　
　　气源中氧的含量 由于空气中的氧的含量大约是21%，人们可以预料用空气产生臭氧的比能大约要比纯氧气产生时差5倍。事实上，为产生实际有益浓度所需的电能大约只有用氧气时的2倍。