超纯水抛光间的脱气膜一般什么条件下需要设计?
沪学
沪学 Lv.2
2017年07月18日 17:54:12
来自于纯水系统
只看楼主

有个疑问:在一些微电子厂的抛光间看到在抛光混床后有的设计有脱气膜、有的没有设计脱气膜,一般出水DO多少的时候需要在这儿设计脱气膜啊?

有个疑问:在一些微电子厂的抛光间看到在抛光混床后有的设计有脱气膜、有的没有设计脱气膜,一般出水DO多少的时候需要在这儿设计脱气膜啊?
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co1495196110171
2017年07月28日 17:10:32
2楼
脱气膜有单级或者两级处理和RO有点像,最多可以降低1ppb一下。
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上智618
2017年08月03日 14:21:38
3楼
通常情况下脱气膜是设计在一级反渗透和二级反渗透之间 来一个,然后就是在抛光混床和TOC脱碳器之前再来一个脱气膜。
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yanglean1990
2017年08月13日 12:22:40
4楼
很好的资料
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