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超纯水抛光间的脱气膜一般什么条件下需要设计？
有个疑问：在一些微电子厂的抛光间看到在抛光混床后有的设计有脱气膜、有的没有设计脱气膜，一般出水DO多少的时候需要在这儿设计脱气膜啊？
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