具体请参考：
洁净室系统竣工性能测试及单项系统测试准则
一．FFU泄漏(filter leakage)测试?
1. 先启动待测试之FFU,并调整其风量维持在设计范围内?
2. Particle counter 所附之探测棒须filter下方5cm以1.5cm速度沿filter出风面作有规律扫描。
3. 每HEPA 或ULPA之出风表面均须测试。
4. 若测得其Particle超过其要求Filter之规定或出现相关之不允许Particle╋则说明该FFU有泄露╋破坏之处须以silicon来修补。
二．FFU风速（air flow velocity）测试?
1. 可分层流区及非层流区来测试。
2. 须对每片filter 测量╋测试不少于5个点求其平均风速值。（其四角和中心区域各测试一处）
3. 测量高度为1.2米或1.5米的假定工作面。
4. 层流区平均风速须达到0.35m/s+_20%,非层流区平均风无须达到0.45m/s+_20%.
三．FFU气流平行度(air flow parallelism)测试?
1. 本项目仅对全面层流区实施
2. 依高架地面或地面上方1.2米或1.5米处之丝线偏离以计算之偏离角度。
3. 偏离角度不得大于14度。
四．洁净度（Air borne particle count）测试?
1. 测试前须先确定洁净室内所有工程均已完成╋并已经正常运转。
2. 测量高度为1.2米或1.5米的假定工作面╋或由业主与承商共同协商定之。
3. 测试点数不少于洁净室之面积的平方根个╋或由业主与承商共同协商定之。
4. 测量器具为粒子计数器（particle counter）
五．室内压力（Room pressurization）测试?
1. 利用微压差计由最内房间向外逐一测试。
2. 测试前确保洁净室之所有门窗等为关闭状态。
3. 每房间至少测试一点。
4. 测量高度为1.2米或1.5米的假定工作面╋或由业主与承商共同协商定之。
六．温湿度测试?
1. 利用温湿度计测试╋测试前确认风速已测试完成╋且空调系统运转24小时后开始测试。
2. 每个空调温控区至少有一个测试点。
3. 测量高度为1.2米或1.5米的假定工作面╋或实践的全部数量及位置可有业主与承商共同协商定之。保证每50平米至少有五个测试点。
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七．环境噪音测试?
1. 利用声级计测试╋洁净室每40平米及每一独立房间须测量一点。
2. 须启动洁净室所有相关空调设备╋但其它设备为停止状态。
3. 所测量值不得超过设计及业主规定。
5. 测量高度为1.2米或1.5米的假定工作面╋或由业主与承商共同协商定之。
八．气密性(Enclosure infilteation leak)测试?
1. 钟对洁净室内门窗?所有建筑结构可能得缝隙及管道间与所有管线进入洁净室的接缝。
2. 可采用漏光法或感观触摸等方法检测。
九．照度测试?
1. 采用照度仪测试╋所有测试点数量?位置?高度可由业主与承商共同协商定之。一般为距地面1.2米或1.5米的假定工作面。
2. 日光灯系统至少运转100小时╋白彘灯须连续20小时以及洁净室相关设备系统至少运转2小时或室内温度已达到稳定状态后才能测试。
十．地板及墙板静电测试?
1. 采用高阻表测计╋测试前须用相关溶液擦洗。
2. 地板一般测试”+”?”-“两极间距至少>=600mm,或按每36平方米一个测试点为原则进行测试。
3. 墙板一般测试”+”?”-“两极间距至少>=900mm,或按每36平方米一个测试点为原则进行测试。
4. 地板表面电阻一般为1.0*104~~1.0*106奥姆╋
墙面电阻一般为1.0*106~~1.0*108奥姆。
原文来源：
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