各位大侠，向大家请教一下半导体行业有什么要求，对洁净室有什么要求？对洁净室内的净化设备（如FFU）有什么要求？先多谢了
2楼
O(∩_∩)O哈哈~，我来顶一顶:lol
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3楼
我也很想了解
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4楼
楼主这个问题太大了，不好回答。
半导体行业根据工艺要求不同，一二次更衣，工作区，灰区，光刻区都有不同的洁净度要求。不同的洁净度要求自然需要采用不同的空调方案，从而影响不同的空调设备。光一个FFU就有风量，尺寸，过滤效率，面风速等等不同技术参数。
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5楼
非常感谢楼上的回复,我主要是想知道半导体行业对FFU有什么要求，如FFU的振动，噪音等,特别是半导体厂房内设备上用的FFU，如STOCKER，再次感谢~~
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6楼
最主要是要功率小，毕竟这么多运行起来成本高，噪音一般控制在55dB，振动好像没什么要求吧，反正都是在天花板上的。
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7楼
谢谢6楼
STOCKER机台上会用到小的送风单元吗?
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8楼
等待高人回答
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9楼
对于静电处理，要求比较高。像信利半导体，排风量也比较大，而且要保持恒温恒湿的要求。
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10楼
好的FFU咱们可能会有震动呢？主要就是风机运转是的噪音，马达使用寿命，耗电，直流电还是交流电，还有就是交换机，软件控制和电脑检测。这FFU如果要细说内容多的去了。
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