电压暂降对半导体行业的影响
郑州泰普科技
2021年10月23日 11:11:23
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现代供电网络日趋庞大,彼此间的电磁耦合紧密,系统故障点引起的电压扰动往往会波及更大范围的用电负载。电力系统经常因为短路等不可预防的故障引发电压暂降问题。而在半导体行业中,芯片制造工艺复杂,芯片中电路的制作需层层叠代、环环相扣,芯片从最初的硅圆片上线加工到最后芯片封装销售,整个过程将近上百道工序,任何一道工序的加工失误均会导致整个晶圆片的报废。   在半导体行业中的敏感负载有:厂务排风系统(洁净室)、

现代供电网络日趋庞大,彼此间的电磁耦合紧密,系统故障点引起的电压扰动往往会波及更大范围的用电负载。电力系统经常因为短路等不可预防的故障引发电压暂降问题。而在半导体行业中,芯片制造工艺复杂,芯片中电路的制作需层层叠代、环环相扣,芯片从最初的硅圆片上线加工到最后芯片封装销售,整个过程将近上百道工序,任何一道工序的加工失误均会导致整个晶圆片的报废。

 

在半导体行业中的敏感负载有:厂务排风系统(洁净室)、PCW工艺水、UPW超纯水系统;光刻机;离子注入机;刻蚀机;机台控制系统等。这些系统或负载遇到电压暂降之后,会受到不同程度的影响;严重时会导致整条生产线所生产的芯片报废,给企业带来巨大的经济损失。

 

电压暂降的危害不仅仅是生产流程中断造成的直接经济损失,还会出现成品率降低、延迟交货、和设备寿命的降低;晃电事故严重的话,时还会影响企业在客户心中的信誉度,从而导致的客户流失等。

 

对此泰普科技推荐使用TPM-QSDVR电压暂降保护系统,该系统应用于治理电网电压暂降、电压暂升和短时中断的新型电力电子设备。供电系统电压正常时,负载经由装置内部晶闸管供电;电网电压发生扰动时,晶闸管被快速关断,装置进入恒压源控制模式,通过晶闸管切断系统电源,超级电容内的能量通过逆变器输出给负载供电;当系统电压恢复正常时,装置开始将负载侧电压调制与系统侧电压参数一致(幅值、频率、相位),当满足周期要求后, 导通晶闸管,负载继续经由系统电源供电。整个过程平滑,对负载无任何扰动,从而实现动态治理供电系统电压暂降、短时中断、暂升的功能。


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