正确使用半导体生产用纯水设备能使设备使用的时间更长，其出水性能也会更有保证。但是若在使用过程中没有按操作说明去执行，不但影响设备的出水水质，还会增加设备维护工作的难度，那么怎样判断半导体生产用纯水设备是否需要检修呢?具体表现如下：

　　1、产水量下降

　　在正常压力下，若出现设备产水量下降，系统中的水不是在充满状态，此时需要通过不带压冲洗的方法排净空气，如果不排净空气，就容易产生“水锤”的现象而损坏系统元件。正常运行后观察设备的产水流量及工作压力、电导率等来判断是否污堵，根据产水流量及浓水流量来判断产水量是否能达到所设计的标准。

　　2、进水端与浓水段压差波动

　　如果设备的进水和浓水之间的压力有波动，诸如上升或下降现象，说明已经受到污染，需立马清洗。

　　3、出水水质

　　若出水水质变浑浊，很明显是设备中某些元件受损造成，应立刻排查。污堵后如若不及时用化学药剂清洗，会造成设备的污堵越来越严重。

　　半导体生产用纯水设备在日常工作过程中，要保障设备放置的地方通风干燥并定期对其进行检修，以保障设备的正常运行。以上为大家介绍的就是判断半导体生产用纯水设备是否需要检修的方法，希望对大家有帮助。