洁净室及相关受控环境的污染包括悬浮粒子污染（控制洁净度）、生物污染（控制菌落数CFU）、空气分子污染（控制环境中10亿级至万亿级微量气相酸性、碱性、有机及掺杂物质）、静电污染（静电带电和静电放电）等。