30平方全百级光刻室用HEPA做还是用FFU做好
xuehexue
xuehexue Lv.2
2007年10月28日 11:22:07
只看楼主

30平方全百级光刻室 用HEPA做 还是用FFU做好呢? 湿度《38 , 温度26左右。 各有什么利弊呢? FFU噪音怎么解决呢? 请教了

30平方全百级光刻室 用HEPA做 还是用FFU做好呢? 湿度《38 , 温度26左右。 各有什么利弊呢? FFU噪音怎么解决呢? 请教了
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xuehexue
2007年10月28日 11:24:14
2楼
有技术夹层的图片吗? 业主要用岩棉板做
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yx298298
2007年10月29日 10:15:12
3楼
客户有没有提供图纸及设计方案
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xuehexue
2007年10月29日 15:10:02
4楼
MEIYOU没有图纸 要我们自己设计
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fqucxping
2007年10月29日 19:36:25
5楼
全百级还是用FFU好的多.除了造价高点外,都比HEPA好的多.我用HEPA做过一个60多平方的全百级,出来的效果不如FFU好.施工及运行成本并不比FFU低啊.再说FFU的噪声也不算大.03年做了一个270多平方的全百级,光学车间,层高2.4M,采用均孔防静电地板回风,后来全运行测试噪声为64分贝,现在我记的很清,也不错.
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xuehexue
2007年10月29日 20:22:58
6楼
均孔防静电地板是不是造价很高? 哪里有卖的呢? 谢谢
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xuehexue
2007年10月29日 20:24:53
7楼
另外FFU 技术夹层做多高好 是不是要2次吊顶呢? 那一次吊顶的吊杆怎么处理呢? 谢谢
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fqucxping
2007年10月30日 02:08:04
8楼


厂家很多,上网一查就知道了.
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fqucxping
2007年10月30日 02:11:20
9楼


根据夹层的设备多少来定吧,没有太多的要求.我做过的夹层在2M左右.不需要2次吊顶了,把原建筑的内表面处理平整,用环氧油漆做面层处理,吊杆也用环氧油漆处理.
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myz1633
2007年10月30日 13:50:24
10楼
现在承蒙指教,全百级光刻室30平方,2。6米高,用FFU。那从组合空调箱送出到FFU上夹层里的风量是多少呢? 不会是30*2.6*400(换气次数)=31200M3/H 那么大吧????? 用L=840~1080M3/H的FFU 要用几个呢? 请教啊
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fqucxping
2007年10月30日 16:06:55
11楼

先说明一个问题,百级不是按气次数来确定的,一般百级的检测是用工作面的平均风速来作为检测标准的.一般工作面的层流平均风速在<0.25M/S以上就能达到百级.而光刻车间最好还是满布FFU才行.
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