生物活性炭组合工艺也涉及到臭氧氧化技术。臭氧氧化技术具有氧化能力强、反应速度快、不产生污泥、无二次污染的特点。

臭氧能够有效的氧化分解废水中的有机物和氨氮，具有接触时间短、处理效率高、不受温度影响等特点，并具有杀菌、除臭、除味、脱色等功能。臭氧之所以表现出强氧化性，是因为分子中的氧原子具有强烈的亲电子或亲质子性，臭氧分解产生的新生态氧原子也具有很高的氧化活性。并且，证明对于处理洗浴废水中阴离子洗涤剂氧化降解，具有较好的效果。但是，臭氧与有机物反应具有选择性，不易将所有有机物彻底分解为CO2和H2O。
因此，一般采用臭氧氧化与其它处理方法联用的工艺，去废水中有机污染物的方法应用较为广泛，如臭氧与活性炭联合，臭氧与膜联合等。