从芯片制造工艺来看,主要有以下6方面的质量要求,但我没有实施过,不知道从施工的角度如何来达到这些要求,请专业人士提供高见,谢谢!!
1,空调系统中洁净度
2,超纯水
3,纯气
4,温、湿度
5,静电
6,电稳定

我是学电的,在洁净厂房施工中,
1,静电和电稳定有什么特殊的要求,应如何控制(特别是由气流摩擦产生的在空气中游离静电有什么控制措施没有)?
2,对尘的控制有些什么措施?

我看了《洁净厂房设计规范》2001版，对电气和静电要求也不高，但那规范只写了静电接地在0。5欧以内，但没有写气流静电的处理，没有涉及到施工的内容，能传一份《洁净厂房设计与施工》规范给我吗，我在书店没看到有卖。

我从来没有搞过这类似工程，概念非常模糊，有过施工经验请不吝赐教啊！！

我上传一份《洁净厂房设计规范》作为见面礼！！