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求助:寻求芯片洁净厂房(100级以下)施工资料
从芯片制造工艺来看,主要有以下6方面的质量要求,但我没有实施过,不知道从施工的角度如何来达到这些要求,请专业人士提供高见,谢谢!! 1,空调系统中洁净度 2,超纯水 3,纯气 4,温、湿度 5,静电 6,电稳定 我是学电的,在洁净厂房施工中
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