半导体行业用超纯水设备可连续，稳定地生产高品质纯水，无需因树脂再生而停机。同时，无污染物排放，既环保又省去了废液处理的投资，还具有节能优点。

半导体行业用超纯水设备工作原理

1、水进入纯化系统，主要部分流入树脂/膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。

2、树脂截留水中的溶存离子。

3、被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动。

4、阳离子透过阳离子膜，排出树脂/膜之外。

5、阴离子透过阴离子膜，排出树脂/膜之外。

6、浓缩了的离子从废水流路中排出。

7、去离子水从树脂/膜内流出。

半导体行业用超纯水设备制备工艺

1、预处理-反渗透-水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象

2、预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象

3、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象

4、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制抛光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象

超纯水设备的使用范围非常广泛，可以应用在化工、电子、医药、实验室、电镀等各种行业中。随着超纯水设备使用范围的加大，该设备在未来发展中的前景将是无限的。