半导体行业超纯水设备停机方式有两种，一种是手动停机，另一种是自动停机。下面为大家介绍一下手动停机和自动停机的操作及注意事项。

　　1、手动运行时停机

　　在电控箱将EDI膜块的选择开关切换至“停止”的位置，将增压泵的选择开关切换至“停止”的位置，关闭半导体行业超纯水设备进水阀门、产水阀门和浓水排放阀门。

　　2、自动运行时停机

　　半导体行业超纯水设备正常运行时在达到水箱设定液位值后会自动停止运行。为了保证半导体行业超纯水设备的安全运行，设备在控制方面进行以下几种自动连锁控制，当不满足以下条件时，设备也会自动停止运行。

　　(1)浓水进水流量、浓水排水流量低于各自的设定值时，限位开关会自动开启。

　　(2)增压泵过载。

　　(3)整流电源故障。

　　半导体行业超纯水设备停运时不要接通水源，否则设备在下次启运时需要较长的时间进行再生。

　　以上为大家介绍的就是半导体行业超纯水设备停机的两种方式，希望对大家有帮助。