半导体超纯水设备管道如果长时间不清洗，会严重影响出水水质，那么半导体超纯水设备管道应该如何清洗呢?下面介绍一下：

　　首先我们需要注意的是清洗超纯水管道一定要采用超纯水，然后将储罐与水泵连接，再和需要清洗的管道进行连接，往储罐注入一定量的超纯水，用水泵进行循环，十五分钟之后拧开排水阀，一边排放一边循环，可以使用流量计测量。然后用稀释过的氢氧化钠溶剂继续循环冲洗，循环半个小时。

　　第一遍清洗前应在不锈钢滤筒里安装使用过的微孔滤棒专供清洗使用，清洗完成后更换全新微孔滤棒。半导体超纯水设备中的树脂罐严禁与清洗所用的双氧水溶液接触，清洗前树脂罐旁应安装管道旁通。

　　第二、三遍使用双氧水溶液清洗时，每次应使用双氧水溶液在管内循环半小时，然后停止循环关闭主阀门，让溶液在管道中浸泡1小时。

　　第四遍清洗时，应使用冲洗的方式，冲洗时间不少于8小时，边冲洗边循环，边在管道最末端放水。

　　以上为大家介绍的就是半导体超纯水设备管道的清洗方法，希望对大家有帮助。