现在多晶硅材料行业发展越来越快，多晶硅生产的原料是三氯氢硅和氢气，按照一定的比例进入还原炉内进行热分解和还原反应产生多晶硅。多晶硅材料超纯水设备的出现解决了多晶硅生产用水的难题，下面为大家介绍一下多晶硅材料超纯水设备的工艺流程：

　　采用离子交换方式，其流程如下：

　　原水→原水泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水输送泵→微孔过滤器→用水点

　　采用两级反渗透方式，其流程如下：

　　原水→原水泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→无菌水箱→纯水输送泵→微孔过滤器→用水点

　　采用EDI方式，其流程如下：

　　原水→原水泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→精密过滤器→反渗透→中间水箱→EDI增压泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点