半导体行业超纯水设备在运行中，为了使设备能够安全稳定的运行，对设备起到监控的作用，需要安装一些仪器。下面小编来介绍一下半导体行业超纯水设备常用的仪表有哪些。

　　1、温度表

　　产水量与温度有关，为了求出“标准化”后的产水量，需对温度进行监测，半导体行业超纯水设备应进行记录。

　　在此需要注意的是，当温度超过45℃时，膜元件会受损，所以原水加热系统还应设有超限报警、超温水自动排放和停运RO的保护。

　　2、电导率表

　　给水电导率表可设置报警，从给水电导率和产品水电导率可估计出RO的脱盐率。

　　3、压力表

　　出水压力表、给水压力表、排水压力表用于计算半导体行业超纯水设备的每一段压降，对产水量和盐透率维持稳定起到重要作用。

　　4、pH表

　　给水防止生成CaCO3垢，需加酸时，加酸后需装pH表。

　　当使用醋酸纤维素膜时，除了防止CaCO3垢生成，更重要的是维持pH值为5.7。除指示、记录、设超限报警外，还可以自动控制不合格给水排放，并停运半导体行业超纯水设备，与流量表配合对加酸系统进行比例积分调节。

　　5、流量表

　　流量表用于监测产水量，使RO性能数据标准化，产品水流量应有指示、累计和记录;浓水排水流量表在运行中监测排水量，应有指示、累计和记录。

　　6、氧化还原电位表

　　经加亚硫酸氢钠消除余氯的给水，应装设氧化还原电位表，应有指示、记录、超限报警。

　　关于半导体行业超纯水设备常用的仪表种类就介绍到这里了，通过这些仪表的检测，我们可以随时知道半导体行业超纯水设备的运行情况，及时发现设备是否出现故障，保证半导体行业超纯水设备的稳定运行。