对应不同压缩空气等级分别应当用什么级别的管材,请大家帮忙回答一下。我看到人家0.01um的就用普通抛光处理的不锈钢管,那么BA、EP、VV这些等级的钢管什么时候用呢?还有304,304L,316,316L分别用在什么情况下?
对应不同压缩空气等级分别应当用什么级别的管材,请大家帮忙回答一下。
我看到人家0.01um的就用普通抛光处理的不锈钢管,那么BA、EP、VV这些等级的钢管什么时候用呢?
还有304,304L,316,316L分别用在什么情况下?
2楼
压缩空气站设计规范里有具体要求
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3楼
谢谢楼上的,但是电子厂和医药厂大多数要求比第4条还高,如-70度0.1um。用不锈钢是肯定的,但是不锈钢等级也很多,这个怎么用有规定吗?不然我都用304AP的了,还用那些高档昂贵的干什么。
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4楼
对于工艺气体而言,由于在芯片生产中需要与芯片接触并参与反应,因此需选用经电解抛光(Electro-Polish)处理的316L不锈钢管,即SS316L EP管,其耐腐蚀性好,表面粗糙度低,Ramax(最大表面粗糙度)<0.7微米。光滑的表面使颗粒无从吸附滞留,从而保证气体的纯度。
对压缩空气而言,由于其并不作为制程中的反应气体,可以选用经光辉烧结(Bright Anneal)处理的316L不锈钢管,即SS316L BA管,也可以采用经化学清洗(Chemical Clean)处理的316L不锈钢管,即SS316L CC管。其Ramax为3-6微米。主要是根据跟对管材的Ramax的要求决定的。
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