超纯水在25C时，电阻率为10MS2-cm以上，通常靠近18MS2-cm，极限位抵达18.25MS2-cm。为了抵达如此水质，有必要经膜过滤与棍合床等终端精处置。

在半导体作业，超纯水处理通常用于湿制程(WetProcess)上，因为在湿制程处置进程所运用水质直接关系到产物质量，运用超纯水传统的处理设备，不仅不能处理掉污染，反而会加重污染，因此优化现有超纯水处理系统显得迫不及待。

超纯水处理体系设n卞要涉及到工艺流程、设备和作业成木。在半导体作业，水质的好坏直接影响到产物的不良率。超纯水处理体系设亡的中心的在包管安稳的水质的条件卜，优化流程，下降成木。在设亡体系时应在水质、工艺流程和成木之间找到一个最优化的平衡点。体系优化能够从以卜几个力一irn着手。

超纯水处理体系的成木卞要为设备成木和作业成木。其间，设备成木占的份额较大。断定工艺流程后，对能够选用国内设备坚决选用国内设备，假若有必要选用国外设备，有必要考虑到设备的运用保护，例如备品备件。对商场呈现的技术含量高、出资成木高的设备，也不要一味寻求。在性个体系中，分析仪器和控制体系担仟了重要的人物。其时，超纯水处理体系的分析仪器大多数己国产化，控制体系通常选用西门子公司的集成控制体系。

经过将这此设理念应用于多品硅、红宝石衬底和电解电容等项目中，优化了工艺流程，下降了设备和作业成木，包管了体系安稳作业，取得了超卓作用。