2楼
基本上就是一个液封装置和氮气系统
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3楼
能详细说一下工艺吗？此外，如果不用氮封，要杜绝溶解氧有无其它更好的措施？
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4楼
还有一中方法是在水上铺一层膜
但效果不好
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5楼
氮封是PW，UPW中Make-up下游工艺中TANK必备的，其基本组成有：
进氮：压缩氮气经减压后进入Tank。
水封：溢流管路需要加水封。
呼吸阀：即呼气阀加吸气阀，也就是两个单向阀组成，用于进水及泵吸水时产生的正、负压变动。
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6楼
谢谢nick_kathy_1976，请问是否吸气阀接Tank，呼气阀通大气。
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7楼
谢谢nick_kathy_1976，请问是否吸气阀接减压后的氮气，呼气阀接大气。
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8楼
我们现在一贯的做法是 用氮封系统外加一个真空/安全阀,用的是FISHER 公司的,可以参考这方面的资料
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9楼
在液面放一个浮顶,即在"水面上铺一层膜 "可以保证液面覆盖率98%以上.所以,我觉得盖浮顶也可以.
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10楼
具体说，一路氮气经减压后直接接入TANK；而呼吸阀直接TANK；所有TANK溢流管是必需的，此管又不能直接通大气，因此需水封。
可以在GOOGLE上查一下储槽安全方面的内容。根据系统的安全要求，有的有多重正压(呼气)与负压(吸气)保护。
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