半导体FAB洁净度与换气次数的关系（经验值）FS 209D CLASS 换气次数（次/h） 过滤器配置1 420 100％10 360 100％100 200 56％1,000 35 10％10,000 25 7％100,000 15 4％
半导体FAB洁净度与换气次数的关系（经验值）
FS 209D CLASS 换气次数（次/h） 过滤器配置
1 420 100％
10 360 100％
100 200 56％
1,000 35 10％
10,000 25 7％
100,000 15 4％
12楼
一般100级以上的洁净室很少用换气次数这个标准了，而是使用断面风速这个标准来衡量了。
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13楼
是的。
请参见上面的说明。
此外，气流速度用于单向流洁净室；非单向流洁净室宜用换气次数，因为其气流速度难于测准；亦有用末级过滤满布率来反映的，可用于各种气流流型的洁净室。
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14楼
hhnec 你是在 上海张江 的那个华虹NEC吗?
举个例子：
在一个1万平米的ball room中，即使在甲方已经提供设备LAYOUT的前提下，大部分设计单位会使用均布FFU的设计方案。
这样的设计固然没有什么大错，但有可能会被要求严格而又懂行的业主方给踢出局哦！
哈哈看来你们很苛刻? 在初步设计时也可, 不过要是提供了 设备LAYOUT 最好按设备做调整, 在CAD上也就几十分钟的事, 当也许着就是 细节决定成败. 比较佩服 德国人的严谨. 不过国内没有那么多时间让你仔细考虑,制度问题,公司企业文化问题.
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15楼
不是。
上海张江的那个原先叫贝岭张江厂，现为华虹NEC的二厂。
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16楼
op 知道拉
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17楼
hhnec对半导体行业很熟啊，我在半导体技术天地http://www.2ic.tw/ 上就经常看到你的贴子，在这也有你不少贴子啊，希望多交流啊，我们公司现在主要在做中芯国际（北京、天津）的厂务维护，本人主要负责公司在中芯国际（上海）及威宇科技水处理、空调系统方面的业务，希望楼主能提供华虹NEC方面的业务及机会啊，呵呵。
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18楼
谢谢你，希望以后能够合作。
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19楼
用了后不会出什么问题吗?
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20楼
学习了
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21楼
以下是引用chenzeang在2007-07-13 17:26:27.0发表的内容：
hhnec对半导体行业很熟啊，我在半导体技术天地http://www.2ic.tw/ 上就经常看到你的贴子，在这也有你不少贴子啊，希望多交流啊。
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