集成电路生产用水制备
aqua_zjh
aqua_zjh Lv.2
2003年07月05日 08:57:02
只看楼主

从事半导体制造、封装的生产用水,Q=6m3/h;电阻率大与等于16MΩ-cm。请教生产工艺?不知软化+RO+活性炭能否达到要求?有价格便宜的RO装置吗?aqua.zjh@2911.net.

从事半导体制造、封装的生产用水,Q=6m3/h;电阻率大与等于16MΩ-cm。请教生产工艺?
不知软化+RO+活性炭能否达到要求?
有价格便宜的RO装置吗?

aqua.zjh@2911.net.
deng_sq0813
2003年07月05日 10:51:24
2楼
一般不能,两级反渗透的出水在3μs/cm 以上
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aqua_zjh
2003年07月06日 09:46:25
3楼
谢谢,如果原水为自来水的话,需要在RO前装多介质过滤器吗?

软化+一级RO+EDI 可否?
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zhangling_1105
2003年07月08日 22:50:09
4楼
出水水质要求较高,光用RO根本无法达到要求。
可用市政水+预处理+一级RO+混床+抛光混床或市政水+预处理+一级RO+EDI+抛光混床
由于用于半导体制造业,应注意水中细菌颗数,采用UV杀菌后,应用微孔过滤器滤除细菌。终端水箱应尽量采用氮封水箱。
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aqua_zjh
2003年07月09日 09:09:00
5楼
谢谢ZhangLing_1105 ,如用市政水+预处理+两级RO+EDI颗否?投资比抛光混床高还是低?
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ft1971
2003年07月13日 10:47:04
6楼
如用两级RO+EDI的话投资在两百万左右,离子交换就便宜多了
13880509506
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alliedwx
2003年07月13日 17:47:53
7楼
可用自来水+多介质+活性碳+(可能要软化)+精滤器+一级RO+UV+热备用三混床系统+UV+抛光混床(保安用)+0.22精滤+30%回用系统
6t/h系统大约在70~80万元(RMB)
具体大家可以探讨.
13328101115
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z80920
2003年07月28日 16:58:57
8楼
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zxuefei
2007年04月24日 11:36:08
9楼
看什么水质了,在深圳只需
可用自来水+多介质+活性碳+(可能要软化)+精滤器+一级RO+备用三混床系统+UV+0.22精滤
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