19世纪中叶在医院外科手术前，先向手术室内喷洒石碳酸溶液，以控制感染，开始有了洁净室的概念。
进入20世纪，第一次世界大战后，美国航空仪表生产中建立‘控制装配区’，为工业洁净室的出现打下了基础。
1940年，美国创建了第一座洁净室，是洁净室的起源。
1950年，高效粒子空气过滤器（HEPA）问世，成为洁净技术发展史上的第一座里程碑。
50年代，美国基于精密机械、电子工业的需要而发展了污染控制技术。在朝鲜战争中，雷达设备的失效率达70%-80%，应用空气洁净技术后，下降到5%-8%。
1957年前苏联第一颗人造卫星发射成功，刺激了美国加速发展宇航工业，也相应加速制订有关控制标准的工作。