洁净厂房（气流流型和送风量）

• 气流流型的设计应符合下列规定：
    1 洁净室（区）的气流流型和送风量应符合表1的要求。空气洁净度等级要求严于4级时，应采用单向流；空气洁净度等级为4级～5级时，应采用单向流；空气洁净度等级为6级～9级时，应采用非单向流。
    2 洁净室工作区的气流分布应均匀。
    3 洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求。
  
  二、洁净室的送风量应取下列三项中的最大值：
    1 满足空气洁净度等级要求的送风量。
    2 根据热、湿负荷计算确定的送风量。 

3 洁净室内的新鲜空气量应取下列两项中的最大值：
    1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。
    2 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

三、为保证空气洁净度等级的送风量，应按表1中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算。

表1气流流型和送风量

注：1 换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室；
2 应根据室内人员、工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限值。

四、洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响，并应符合下列规定：
  1 单向流洁净室内不宜布置洁净工作台，非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台。
  2 需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。
  3 有发热设备时，应采取措施减少热气流对气流分布的影响。
  4 余压阀宜布置在洁净气流的下风侧。