一、洁净室内的空态噪声级，非单向流洁净室不应大于60dB(A)，单向流、混合流洁净室不应大于65dB(A)。

    二、洁净室的噪声频谱限制应采用倍频程声压级，空态噪声频谱的限制值不宜大于表1中的规定。

表1空态噪声频谱的限制值

三、洁净厂房的平面和空间设计应考虑噪声控制要求。洁净室的围护结构应有良好的隔声性能，并宜使其各部分隔声量相接近。

    四、洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备，宜设置专用隔声或消声设施。

    五、净化空调系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外，洁净室内的排风系统应进行减噪设计。

    六、根据室内容许噪声级要求，净化空调系统风管内风速宜符合下列规定：
    1 总风管风速宜为6m/s～10m/s。
    2 无送、回风口的支风管风速宜为4m/s～6m/s。
    3 有送、回风口的支风管风速宜为2m/s～5m/s。