光刻室的防震这么处理呢？ 光刻机这么防微振？ 部分高架地板要做在防震平台上吗？ 而且防震平台那有卖的呢 ？ 请指教
光刻室的防震这么处理呢？ 光刻机这么防微振？ 部分高架地板要做在防震平台上吗？ 而且防震平台那有卖的呢 ？ 请指教
2楼
刚做的上海科学院的光刻机研究实验室，里面做了三个防微震平台，高架地板一定不要和它接触
我们找的北京防微震研究所做的
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3楼
谢谢 有联系方式吗？ 防微震研究所有联系方式吗？ 网上搜不到
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4楼
贵司的光刻机是NIKON还是ASML产的？什么型号？
以下的帖子可以供你参考：
http://www.2ic.cn/bbs/thread-322041-1-2.html
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6楼
估计会很麻烦 ！！可能光刻机基础要做防震！！
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7楼
基本上機台不太能放到高架地板上要用獨立防震架台
防震架台也是需要依不同機台去計算設計製造
安裝時架台要跟高架地板完全斷開
但是防震架台不是萬能
如果主體結構出問題防震架台再厲害也沒用要從主結構加強起才有用
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