本帖最后由 唯一上上 于 2016-3-7 11:23 编辑 获得和保持高真空十分重要的是对于加工好的零件和安装好的真空系统，要注意去油，防污染，使环境及表面净化，以及进行必要的高温烘烤。对于经常使用的机械真空泵和油扩散泵，由于长期运行或环境污染，真空度常常抽不上去，或真空度抽不到原来的极限真空水平。 1．旋片式油封机械真空泵的净化 油封机械泵不适于抽含有灰尘的气体。灰尘能污染泵油并且磨损泵腔内表面产生漏气，使极限真空度下降。防止灰尘办法是装置除尘器不适于抽除有大量水蒸气的气体。水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液，不仅会使真空度下降，也能使泵腔与转子生锈，破坏密封面，使泵的极限真空度下降。为此，防止水蒸气对机械泵的污染很重要。防止的措施有：
获得和保持高真空十分重要的是对于加工好的零件和安装好的真空系统，要注意去油，防污染，使环境及表面净化，以及进行必要的高温烘烤。对于经常使用的机械真空泵和油扩散泵，由于长期运行或环境污染，真空度常常抽不上去，或真空度抽不到原来的极限真空水平。
1．旋片式油封机械真空泵的净化
油封机械泵不适于抽含有灰尘的气体。灰尘能污染泵油并且磨损泵腔内表面产生漏气，使极限真空度下降。防止灰尘办法是装置除尘器不适于抽除有大量水蒸气的气体。水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液，不仅会使真空度下降，也能使泵腔与转子生锈，破坏密封面，使泵的极限真空度下降。为此，防止水蒸气对机械泵的污染很重要。防止的措施有：
| (1)选用带有气镇装置的油封机械泵，当泵温为70℃～80℃时，可允许抽除含有水蒸气分压为1．3kPa～4kPa的气体。 (2)装油水分离器，将混有水的机械泵油进行处理，处理过的油再流人泵中使用。 (3)使用吸水性强的干燥剂，如五氧化磷、三氧化二铝、氯化钙、分子筛等做成捕集阱吸收水蒸气。 (4)使用液氮冷阱，不仅能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挡机械泵油向高真空室返流。 |
如需定期净化旋片式油封机械泵，可拆开进行清洗：
| (1)先用废汽油清洗，再用汽油清洗，最后用航空汽油清洗。 (2)用棉布或绸布蘸少量甲醇或丙酮逐一擦洗零件表面，不要用棉纱，以免棉丝留在零件表面上。 (3)如果有锈蚀或毛刺，用细油石或金相砂纸轻轻地擦除。注意不能损伤零件表面。 (4)应将油将路通孔、油槽、气体通道内部的污垢彻底清除干净，并用压缩空气将油路吹通吹干，油路中不要留下清洗用的汽油、甲醇、内酮等残余物。 (5)清洗后的零件用绸布擦净，并用热风吹干后放在储柜中，以免落上灰尘。 |
清洗无明显故障的油封机械泵，一般不需要将泵拆开，只需从放油孔放出旧油及脏物。然后再从进气口注人新油。用手慢慢地将泵转动几圈后，再把油放出。这样，重复一二次，最后注入新油。
2．油扩散泵真空系统防污染
油扩散泵真空系统是使用最广泛的真空系统，其获得真空度范围为1．3×10-3Pa一1．3×10-5Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空装置，长期使用后，常见-的故障是真空度抽不上去，或真空度抽不到原来的极限真空水平。真空度抽不上去的原因需要仔细分析，可能是活动密封处松动、焊缝漏气、真空泵或真空阀门等元件损坏等原因所导致。此外，真空泵内壁的油蒸气污染，真空工艺过程各种污染物的污染也可能是主要原因。防止的办法是：①定期清洗真空室；②定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵进行清洗。
对真空室进行清洗时须注意的是，在拱形真空室之前要关闭好位于油扩散泵与真空室之间的真空阀门，以免污染物落到扩散泵内，真空室内壁的颗粒状污染物可用纱布或绸布擦掉。文章由上海泽德水泵整理表面锈痕、氧化层可用细砂纸轻轻磨掉。表面的油污先后用干净汽油、酒精、丙酮或甲醇进行擦洗，最后用绸布擦表面直至不见痕迹为止。
