30平方全百级光刻室 用HEPA做 还是用FFU做好呢？ 湿度《38 ， 温度26左右。 各有什么利弊呢？ FFU噪音怎么解决呢？ 请教了
30平方全百级光刻室 用HEPA做 还是用FFU做好呢？ 湿度《38 ， 温度26左右。 各有什么利弊呢？ FFU噪音怎么解决呢？ 请教了
22楼
现在都什么年代了,肯定用 FFU的吗?唧唧歪歪.级别要求这么高,造价方面FFU和HEPA应该差别不大 的
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23楼
我做过一个，也是30平米，全满布FFU，空调采用恒温恒湿机，新风几乎为0，温湿度要求非常严格，正负不大于1度，在深圳华翰科技园。现在一直运行良好。
其实没有你们说的那么复杂，百级是最好做的。
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24楼
FFu满布之后的实际噪声可能要比“fqucxping”所说65分贝的大许多。从理论上分析来看：噪声是个台设备（FFU）进行叠加之和，如果每台噪声为53分贝，每增加一台就会增加2-3分贝的噪声。65分贝有点不可想像，希望早日得到回复。
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25楼
FFu满布之后的实际噪声可能要比“fqucxping”所说65分贝的大许多。从理论上分析来看：噪声是个台设备（FFU）进行叠加之和，如果每台噪声为53分贝，每增加一台就会增加2-3分贝的噪声。65分贝有点不可想像，希望早日得到回复。
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26楼
建议你用FFU,因为你的换气次数很大。assume your ceiling board size is 1.2 by 1.2 M, so Number of FFU: 30/1.44=21( ceiling nos)
21*50%=11 ( no of ceiling)
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27楼
支持26楼的观点。全百级光刻室用FFU虽然前期投入的资金会高点，可对你后期的维护会比较方便。
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28楼
用MAU+DC+FFU易施工及调试.
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29楼
30m2 的光刻间，不做高架地板也可以的，至于噪音根据我类似项目经验应该在70分贝左右
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