1.静电放电 静电放电(ESD)是大家熟知的电磁兼容问题,它可引起电子设备失灵或使其损坏。当半导体器件单独放置或装入电路模块时,即使没有加电,也可能造成这些器件的永久性损坏。对静电放电敏感的元件被称为静电放电敏感元件(ESDS)。 如果一个元件的两个针脚或更多针脚之间的电压超过元件介质的击穿强度,就会对元件造成损坏。这是MOS器件出现故障最主要的原因。氧化层越薄,则元件对静电放电的敏感性也越大。故障通常表现为元件本身对电源有一定阻值的短路现象。对于双极性元件,损坏一般发生在薄氧化层隔开的已进行金属喷镀的有源半导体区域,因此会产生泄漏严重的路径。
静电放电(ESD)是大家熟知的电磁兼容问题,它可引起电子 设备 失灵或使其损坏。当半导体器件单独放置或装入电路模块时,即使没有加电,也可能造成这些器件的永久性损坏。对静电放电敏感的元件被称为静电放电敏感元件(ESDS)。
如果一个元件的两个针脚或更多针脚之间的电压超过元件介质的击穿强度,就会对元件造成损坏。这是MOS器件出现故障最主要的原因。氧化层越薄,则元件对静电放电的敏感性也越大。故障通常表现为元件本身对电源有一定阻值的短路现象。对于双极性元件,损坏一般发生在薄氧化层隔开的已进行金属喷镀的有源半导体区域,因此会产生泄漏严重的路径。
另一种故障是由于节点的温度超过半导体硅的熔点(1415℃)时所引起的。静电放电脉冲的能量可以产生局部地方发热,因此出现这种机理的故障。即使电压低于介质的击穿电压,也会发生这种故障。一个典型的例子是,NPN型三极管发射极与基极间的击穿会使电流增益急剧降低。
器件受到静电放电的影响后,也可能不立即出现功能性的损坏。这些受到潜在损坏的元件通常被称为“跛脚”,一旦加以使用,将会对以后发生的静电放电或传导性瞬态表现出更大的敏感性。
要密切注意元件在不易察觉的放电电压下发生的损坏,这一点非常重要。人体有感觉的静电放电电压在3000 — 5000V之间,然而,元件发生损坏时的电压仅几百伏。
静电放电的危害效应是在二十世纪七十年代开始认识到的,这是由于新技术的发展导致元件对静电放电的损坏越来越敏感。静电放电造成的损失每年可达到几百万美元以上。因此,许多大型的元件和设备制造厂引进专业技术以减小生产环境中的静电积累,从而使产品合格率和可靠性提高了许多。用户根据自己的经验也懂得了防治静电放电损害的重要性。
2.如何对付静电放电?
控制静电积累的第一步是要弄清楚静电荷的产生机理。
静电电压是由不同种类的物质相互接触与分离而产生。尽管摩擦能够使电荷积累得更多,但是摩擦并不是必要的。这种效应即是大家熟知的摩擦起电,所产生的电压取决于相互摩擦的材料本身的特性。磨擦起电序列表列出了各类物质的带电难易程度。对于相互接触的两种物质,电子会从序列表较上的物质转向较下的物质,这样就会使两种物质分别带正负电荷。序列表中的物质离得越远,各自所带的电荷数量也越大。电荷也可通过感应产生,这是带电体使其附近的另一物体上的电荷发生分离的结果。
3.实际问题解决
问题的解决包括:如果静电放电敏感元件(ESDS)在生产和维护期间暴露在外面,那么在这些元件附近,应防止电荷的积累,并且在运输和保管过程中,将这些元件按防静电放电的方法包装。
防止静电放电,有许多方法可以采用。最好的办法是满足要求且成本最低的方法,这样的方法对于不同的产品和不同的场合都是不同的。
4.静电放电保护区域(EPA)
静电放电保护区域(EPA),有时指安全操作区,是任意一种静电放电控制措施的核心所在。在此区域中,静电放电敏感元件(ESDS)或电路板,或包含这些的组件,都可以很安全地工作,因为电荷的数量得到控制,而不会产生破坏性电压。这种区域中通常包含工作台或工作台组、工作站、自动插件机一类的处理设备或者一块生产区。EPA的范围必须清楚的标明,最好设置一围栏以防止未经允许的无关人员入内。EPA区域内应使用静电荷积累最小的材料,并且可使电荷以受控制的方式泄入到大地中。
典型的静电放电保护区如图所示,此图摘自EN100015-1,其中许多是新近的。该图给出了各种可能的措施,但并没有必要全部使用这些措施,这主要由特定的环境决定。所采用的其本原理就是等电位搭接,即将所有表面连接在一起,防止不同物体之间产生电位差。
工作面[E1]是静电损耗性的,通过静电放电的接地设施[C3]连接到地[C4]。工作站的操作人员通过导电腕[C1]上的导线和地电位点相连,然而,对于活动频繁的人员,最好是通过脚跟和脚趾带箍[C8]与静电损耗地板[G1]相通(即接地)。腕套的接地导线在接地点[C5]处进行端接。
操作人员所穿的破旧工作服[H1、H2]也应是静电损耗性的,并在靠近静电放电敏感元件附近遮住工作人员自己的衣服,所有破旧的手套也应是导电材料的。
转椅[F1]不应视为操作人员接地的基本方法,但值得注意的是,转椅上必须铺一层抗静电的材料,使座套、靠背和扶手均有与地相通的路径。
元件应存放在带有接地面的搁板[I1]上,或者是接地的机架[I2]上。这些东西与工作台都应通过接地导线[C2]与静电放电的地面相接。
当用手推车装运元件或子配件时,其表面导电性能应与工作面和导电机架的导电性能相似。如果接地轮[A1]导电性良好,且与手推车车架电气连接,那么不再需要使用接地滑片了。如果EPA的地板没有接地,那么当手推车停下来装卸东西时,则应将其接地点[C6]与大地接地点[C5]相连。
在操作人员的正常工作期间,对所采用的这些措施的效果应该用静电伏特计测量其静电势和静电场来评估。
在保护区内和进出口处,应使用标志[J1]来提醒他们注意。
应对腕套及其接地导线用导通测试仪定期进行检测。导电轮和脚趾带箍也应作类似的检测[B2,B3]。