臭氧氧化法依靠臭氧的强氧化能力，通过破坏有机污染物的分子结构，达到去除污染物的目的。同时亦可有消毒以及去除水中铁、锰、色度和臭气等效果。由于臭氧发生器对ＤＤＴ、氯丹和三氯甲烷等的去除几乎是无效的，反而还会导致水中可生物降解物质的增多，并容易引起细菌的繁殖。因此，臭氧氧化单元很少在水处理工艺中单独使用，通常与常规工艺或活性炭吸附结合使用。

　在水处理工艺中，常采用先臭氧氧化再活性炭吸附的工艺流程，臭氧氧化可使水中大分子有机物转化为易于被活性炭吸附的小分子，提高了活性炭的去除效果，得到较好的出水水质。臭氧发生器消毒是依靠臭氧的强氧化能力，通过破坏细菌、病毒和芽孢等的分子结构以达到消毒的目的。

　臭氧投加量和接触时间与出水要求相关，用于消毒时，投加量约１～３ｍｇＯ３／Ｌ，接触时间依接触装置额而异；除嗅和味时，投加量约１～２５ｍｇＯ３／Ｌ，接触时间＞１ｍｉｎ。臭氧发生器必须使用经净化和干燥处理过的空气，条件允许时宜采用富氧空气或纯氧为原料。因 臭氧发生器消毒没有余氯作用，须采取措施，防止配水管网的二次污染。