超纯水品质的好坏对管道工程质量起的着重要影响，在此纯水输送系统过程中高纯水中含有微量的杂质有可能对管材收到污染，使成品率下降。由此看来，高品质的管材与清洗对洁净管道工程就显得尤为重要。
　　超纯水管材选择
　　高纯水被污染的原因，一是来自外界杂质的引入，二是系统内各种材料中所含污染物的溶出。因超纯水管道材质造成纯水水质下降主要有以下两点：
　　(1)管道材质中的不纯物质溶解于高纯水中致使水中阳、阴离子增加、电阻率下降以及TOC增大。
　　(2)因管道内壁不光滑及接头、阀门等原因造成细菌滞留繁殖以及其他颗粒的聚积，致使水中微粒增加。
　　为了减少上述不利因素的影响，应选用可萃性低、内壁光滑的管道并尽可能减少接头及管件的凹凸不平。当然也要根据纯水水质的级别进行选材，并注意材料的价格等，要统筹兼顾。根据材质的不同，高纯水配管主要可分为有机系配管和不锈钢配管两大类。
　　超纯水管道清洗
　　(1)管道清洗对能否在使用点获得合格的高纯水水质极为重要，水质要求越高，对清洗要求就越严格。
　　(2)管道清洗工作通常包括出厂或安装前的清洗和运转调试前的清洗两部分。清洗液配方视选用管道的材质而有所不同。清洗方式一般采用循环清洗与静水浸泡相结合。
　　(3)浸泡是使化学清洗液与铁锈氧化皮层等充分接触反应，而循环清洗的目的是利用循环液流动的冲刷作用将被清洗表面的已疏松的杂物和反应剥离的杂物从管道内带走。
　　(4)对于管道清洗工作，国内已积累了一定的经验，并可由专门的化学清洗公司提供服务。
　　除了合理对高纯水配管与清洗工艺外，还要考虑到高纯水的包装、运输及储存等问题，总之，尽量减少污染，保证高纯水的质量有效减少所含杂质对管材品质的影响。