相信对洁净室正在验收的朋友是个很好的参考。

看了下，深度和规范性一般般。
但实际内容比较干练，实用性强。有很强的内容参照价值；
测点数据中若能细致到每个测量点每次的数据都体现的话会更好，毕竟是10K级测量点，每点不少于3次；
若再多一点分析图会更好，比如加入H-d状态点分析……

看过了
，感觉报告都是一个人写出来的，其他人改改数据而已

感谢斑竹提出宝贵意见。

先收藏.
谢谢.

想下来看看的。可是收藏不了，奇怪的，