一、真空、真空度
在真空技术中，真空是泛指低于大气压的气体所存在的空间状态。所谓真空度是表示一个空间已达到的真空程度。 作为其量度，最直接的物理量应该是每单位体积中的分子个数，但现在通常用气体的压力值来表示。 气体压力越低，其真空度就越高，反之亦然。
二、单位
气体的压力是指气体作用于单位面积容器壁上的压力，国际单位制中其单位为 Ｐａ（帕）。 其他单位制中亦有用 ｍｂａｒ （毫巴）或ｍｍＨｇ（毫米汞柱）或 Ｔｏｒｒ（托）或标准大气压（ａｔｍ）等表示的。 它们之间的换算关系为１ ｍｍＨｇ ＝１３３．３ Ｐａ ＝１．３１６×１０－３ａｔｍ１ ｍｂａｒ ＝１００ Ｐａ ＝０．７５ Ｔｏｒｒ ＝９．８７×１０－４ａｔｍ
三、真空区域划分
根据使用习惯，人们通常按压力划分出几个真空区域。 真空区域的划分，目前尚无统一规定。 兰州物理研究所达道安主编的枟真空设计手册枠（１９９１ 年版）将真空区域划分如下。低真空：１０５～１０２Ｐａ中真空：１０２～１０－１Ｐａ高真空：１０－１～１０－５Ｐａ超高真空：＜１０－５Ｐａ冷冻干燥所使用的真空范围是，食品冻干为１３～１３０ Ｐａ，医药冻干为 ４～４０ Ｐａ，属低、中真空区域。
四、气体分子平均自由程
在常温下气体分子的平均速率一般都在每秒几百米以上，但实际中气体的扩散又是很缓慢的，这是由于气体分子在运动中会与众多的分子发生互相碰撞，不断改变运动方向所致。 我们将气体分子两次碰撞间经历的平均距离叫做气体分子的平均自由程，其近似计算公式为λ＝ １２nπ D２＝ kT２π D２p≈ ０．６７p×１０－３（ｍ）（４唱１）式中，n 为在１ ｍ３中的气体分子数；D 为气体分子的直径（ｍ）；k 为玻耳兹曼常数，k ＝１．３８×１０－２３Ｊ／ Ｋ；T 为绝对温度（Ｋ）；p 为压力（Ｐａ）。对于２５℃的空气，有 pλ＝６．７×１０－３Ｐａ· ｍ。

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