低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的 放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

按照处理效率，以燃烧法和低温等离子体发处理效率最好。燃烧法主要针对高浓度、小气量的可燃性气体，净化效率高，恶臭物质被彻底氧化分解 ，但是设备易腐蚀，消耗燃料，处理成本高，易形成二次污染；低温等离子体技术电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子特别是其他方法束手无策的有极大分子污染物作用；运行费用低；无二次污染 ，且适用范围广，但是一次性投资较高。

可广泛应用于石油化工、垃圾焚烧、制药、食品、污水处理厂、涂料、皮革加工、感光材料、汽车制造等诸多行业有机废气的治理以及采用其它方法很难解决的废气的治理。