油扩散泵抽气系统的最大缺点是油蒸汽的污染。
　　系统中污染物的主要来源如下：
　　(1)扩散泵油蒸汽的返流。这是最重大的污染源。
　　(2)系统中的零部件，在装配时用有油的手拿。用有油污的手套拿，这样粘染的有机分子可以造成系统内的污染。
　　(3)前级油封机械泵油的返流。这个问题也很严重，当入口压力较高时，在达到过渡区(1～10-1Pa)压力时，机械泵的油蒸汽即可直接进入扩散泵内，对系统直接进行污染。很多真空工艺过程的污染来自机械泵返油。当停机械泵时如不及时向泵内放大气，机械泵油可直接返到扩散泵油锅内。当扩散泵起动时对系统的污染更为严重。
　　(4)抽气系统中密封材料的放气造成的污染。特别是人造橡胶密封圈，密封油脂，润滑油等，也同样造成严重的污染。
　　(5)当停泵后放大气时，使真空零部件在空气中粘污上水蒸汽，油烟等，造成对真空系统的污染。
　　消除系统油蒸气返流的具体措施为：
　　(1)加大扩散泵的启动功率来缩短机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区。
　　(2)通过改变系统操作工艺和用阀门来避开返流危险区(切换过渡区)。例如，可使一个按照预定速度开启的高真空阀，逐渐地开启它，保证进入扩散泵的气体流量低于它的最大排气量，并且又使机械泵抽速保证扩散泵前级压力，以使扩散泵能树立工作。这样就能避开过渡区的出现。
　　(3)改善操作工艺，将扩散泵的加热功率调至最佳功率，避免出现泵油爆沸现象;一般扩散泵在加热开始和关闭过程中，返流将出现峰值，所以可用泵口处的高真空阀门来控制避免返流。
　　(4)在扩散泵入口处加装液氢冷阱或吸附阱来捕集返流油蒸气。
　　(5)选用优质的扩散泵工作液。

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