34楼
477song应该是电子11院的人吧？
请问tongfang是什么国外的FAB设计施工单位？CLASS 1是FS 209E不是ISO等级吧？
看了照片后觉得有几点问题想请教：
1、对CLASS 1级别的FAB来说，照度确实不够，难道实测小于300LUX？从照片上看，现在的tools少，将来设备多了，就会产生照度不够（不均）的问题。
2、3F的VESDA系统还没有装吧？是SUBFAB层吗？
3、TEAR DROP灯具是选用哪家的产品？YELLOW LAMP是用哪家的产品？ OSRAM? PHILIPS?
4、FAB层高3.7米的区域必定是考虑到要放置扩散炉，因为它高。而照片上的机台都不是炉子啊，可能是为将来预留。如果整个2F 区域高度都是3.7米的话那就太浪费了。我认为只要把放扩散炉的区域做高就行了。其他的photo/DRY/WET等工艺的设备都不太高。
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35楼
LZ为其服务的那个甲方肯定是世界著名的IC FOUNDRY厂，暴有钱啊！现在还用BAY&CHASE的FAB构造，100%满布FFU全面垂直层流CLASS 1级别！造价和将来的运行费用超高啊！国内都基本放弃这种高昂的建造模式，而采用SMIF/FOUP微环境方式的FAB了。
肯花钱，佩服佩服！
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36楼
看来是半导体前道工序了，前面几张是光刻工序！
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37楼
期待更详尽的资料。特别是一些施工技术、设备的说明。：）
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38楼
美呀，好过读大学哦
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39楼
呵呵,果然是偷拍的.偶就正在做一个1级,不过是在国内,没有楼主命好.
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40楼
多拍些照片上來~~~~
期待你的經典之作……
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41楼
每张图片都配上文字说明就非常爽了，搞了近一年都纸上谈兵还没去现场看过。
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42楼
希望看到一些细节的东西大家来讨论！比如CDA ID HV DC 等！
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43楼
很长见识,不错!
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