有个案子，晶圆体的，新风量很大，加湿量自然也很大，准备采用艾亨达的设备,本来是用湿膜加湿(业主要求),可是从技术角度上说用湿膜不好,他们项目经理推荐用二流体,水洗或蒸汽加湿.无论那种加湿,新风先经过除湿是全除还是部分,我认为是先部他除湿到露点温度,再加湿.而另一认是全部除干净再经过加湿器加湿.