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目录
1.定义与组成
2.功能段介绍
3.选型与故障应对
4.维护及保养
定义与组成
MAU（Make-up Air Unit）
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地位： 净化空调箱是无尘室空调系统的核心。
◆满足FAB内人员对新风的需求；——Q1
◆补充排气风量；——Q2
◆维持FAB正压；——Q3
◆调节洁净室空气湿度。
MAU空调箱主要特点是处理风量大，并且由于外气在不同季节温湿度差异大，相应的能量、加湿量、风机 静压 都很大。若设备处理能量达不到设计要求将对室内温湿度、车间的压力产生较大影响。
通常MAU与FFU、DCC搭配组合来保证洁净室环境条件:
这种搭配（MAU+FFU+DCC）通常在洁净度要求较高的空调系统中才会使用。
【通常是千级或以上的电子厂房】
三者的大致功能大致如下：
MAU： 主要提供洁净室一定温湿度和洁净度的空气，维持室洁净室内正压。
FFU: 主要负责洁净室空气的进一步净化，维持洁净度。
DCC: 主要负责精确调节洁净室内温度。
MAU的组成
一般情况下，常规的净化空调箱MAU设备的功能段约有13~20个段，具体的配置根据工艺生产车间的环境需求具体情况而定。
如对洁净室AMC，氮硫化物、VOC、等有害有机挥发性化合物的含量有特定要求，则需要根据环境需求配置化学过滤器（具体如下图所示）。
功能段介绍
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各功能段参数简介
1.卷绕式过滤：大气尘计数效率:≥35%(≥5μm)
2.初效过滤：效率G4 大气尘计数效率:≥80%(≥5μm)
3.中效过滤：效率F8 大气尘计数效率:≥85%(≥1μm)
4.预热盘管：进风参数:tdb=1.7 °C 出风参数:tdb =28 °C
5.一级表冷：进风参数:tdb=38.7 °C，twb=29.1 °C 出风参数:tdb =17 °C，twb =16.5 °C
6.水洗加湿：淋水室加湿有效加湿量629kg/h（12万CMH），加湿介质 RO水 加湿效率≥95% 带挡水板 进/出风 含湿量 （g/kg）3.09/7.45
7.二级表冷：进风参数:tdb=17 °Ctwb=16.5 °C 出风参数:tdb =9.8 °C，tdb =9.4 °C
8.二级加热：进风参数:tdb=9.5 °C 出风参数:tdb =22°C
9.风 机 段：有关防微振要求的直联变频离心风机 送风量120,000m3/h 机组出口余压900Pa 风机效率80% 电机功率160kW 变频电机 风机自动变频
10.高效过滤：H13 W组合式 DOP 效率: ≥99.97%(@0.3μm)
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过滤段
在空调机组中，由不同过滤级别过滤器组成多级过滤系统，过滤器主要的作用是过滤室外空气的灰尘颗粒物、氮硫化物、VOC、AMC等有害有机挥发性化合物。
空气过滤器 规格中的G，F，H，U是等级的划分，确切来说是根据欧标的等级划分。空气过滤器不同的国家有不同标准，我国国家标准分为初效过滤器，中效过滤器，高效过滤器三个等级，欧洲标准分为G、F、H、U四个等级。U是指超高效;H是普通高效;F是中效；G则对应的是初效。（如下图所示）
洁净室颗粒度标准
洁净区（室）的分级概念首先由美国提出，1963年推出了洁净室第一个军用部分的联邦标准：FS-209。我们熟悉的百级、万级、十万级都是源自此标准，2001年美国停止使用FS-209E标准，开始使用ISO标准。
（如下图所示）
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盘管段
各盘管的作用：
对空气/外气的加热、冷却、除湿用盘管来实现。其方式是通过铜管翅片与空气换热，进而对空气加热（或降温、除湿）；因此盘管是处理机组的核心部件之一。
预 热 盘管： 加热 外气， 提升外气温度 ；
预冷 盘管： 冷却 外气， 降低外气温度 ；
再冷 盘管： 降低 空气的 温度和湿度 ；
再热 盘管：夏季 深度除湿 ，送风温度过低时进行升温补偿；冬季外气温度较低，外气先经过预热再 水洗加湿 ，新风温度略有降低，空气通过再热盘管升温控制送风温度，避免较低温度的空气送入洁净室。
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风机段
风机段 主要作用是 提供动力 ，输送空气到房间。对于不同的送风量要求可以通过变频方式实现。
风机基座下部安装弹簧避震器，风机出风口安装帆布，起到缓震作用，变频电机带强冷散热风扇，独立接电源，防止电机降频后温度上升。
风机一般根据需求的风量和压力选型，空调箱用风机一般为双吸离心式风机，分前倾式和后倾式（包括翼截式）、直联式风机，一般总静压在750Pa以下采前倾式。本项目采用的是直联式风机。
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加湿段
常见的加湿器形式有：
1.水洗加湿器
2.高压微雾加湿器
3.湿膜加湿器
4.电极、电热加湿器
5.干蒸汽加湿器等
适用范围：
适用于大风量工况，加湿量大，系统可靠性与加湿洁净度要求较高的场合。在中大型MAU项目中广泛应用。
工作原理：
空气流经前挡水板均流后进入喷淋室后流经喷水排管，与喷嘴中喷出的水滴相接触进行热湿交换，可同时实现加湿、水洗空气、调节空气温功能，被水清洗后，空气经后挡水板滤水流出。
优势亮点：
对比其他加湿方式，喷淋加湿运行费用经济性显著。且过渡季节可不开启主机，仅使用喷淋实现温度调节。
水洗空气，减少空气中固体（灰尘或粉尘）的含量和有害气体（二氧化硫，硫化氢，氨类，苯类）的含量; 消除静电;
运行稳定性好，可靠性强,结构刚性好。
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选型与故障应对措施
要想学会MAU选型，首先要要掌握的是焓湿图
简单介绍如下：
焓湿图：也叫h-d图，表示空气各参数之间关系的线图。焓湿图就像一本字典，你可以根据拼音（某一参数）查字（空气其他参数）。
空气的部分参数：
干球温度Tdb ：简称温度，就是平常用温度计量的温度。
湿球温度RH：同等焓值空气状态下，空气中水蒸气达到饱和时的空气温度。
露点温度Tdp ：空气在水汽含量和气压都不改变的条件下，冷却到饱和时的温度。（空气中的水蒸气变为露珠时候的温度。）
含湿量（g/kg） ：湿空气中与一千克干空气同时并存的水蒸气的质量。湿空气可以分为干空气和水蒸气。
相对湿度（%） ：相同温度下，空气中水汽压与饱和水汽压的百分比。
热湿比h/d ：焓的变化（△h）和含湿量的变化（△d）的比值。热量和含湿量两者的变化值的比值。
1.夏季工况：
初效过滤中---预冷除湿---再冷除湿---再热升温---风机输送---高效过滤---送风
说明： 夏季外气高温高湿，为满足房间设定的温湿度要求，须同时保证降温和除湿的能力达到要求，可通过冷水盘管满足要求，一般首先保证房间湿度要求，这要求空调箱再冷盘管的离风温度达到房间条件的露点温度要求，即除湿后的空气绝对含水量等于或小于房间含水量，根据这个要求来计算空调箱冷却能力。由于满足除湿造成送风温度过低，则须要再热盘管适当升温至房间干球温度。
2.冬季工况：
初中效过滤---预热盘管---水洗加湿---再热盘管---风机输送---高效过滤---送风
说明： 冬季外气低温低湿，为满足房间设定的温湿度要求，须同时保证升温和加湿 的能力达到要求，可通过加热盘管和加湿设备满足要求。水加湿由于是等焓降温过程，要求预热量较大，预热量须能够使空气经过等焓加湿后达到房间空气露点要求。由于水加湿后湿度较大，温度降低，须通过再热盘管加热升温至房间温度要求。
盘管的计算：
常见故障及应对措施
运维与保养
MAU日常点检常用模板如下：
