SICOLAB洁净厂房施工及质量验收(空气洁净度等级测试) 一、空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器,采样量应大于1L/min。测试粒径大于或等于0.5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器;测试粒径大于或等于0.1μm的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28.3L/min;测试粒径小于0.1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器。 二、采样点的确定应符合下列规定: 1 最少采样点应按下式计算:
SICOLAB洁净厂房施工及质量验收(空气洁净度等级测试)
一、空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器,采样量应大于1L/min。测试粒径大于或等于0.5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器;测试粒径大于或等于0.1μm的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28.3L/min;测试粒径小于0.1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器。
二、采样点的确定应符合下列规定:
1 最少采样点应按下式计算:
式中:NL——最少采样点,四舍五入取整数;
A——洁净室(区)的面积。在水平单向流时,指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以㎡计。
2 采样点应均匀分布于洁净室(区)的面积内,并应位于工作区高度。
三、每次采样的最少采样量应符合下列规定:
1 每个采样点的每次采样量(VS)应按下式计算:
式中:Cnm——被测洁净室(区)空气洁净度等级被测粒径的允许限值(个/m³);
20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数。
2 每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min,当洁净室(区)仅有1个采样点时,在该点应至少采样3次。当VS很大时,采样时间较长,宜采用顺序采样法。
四、对于单向流洁净室,采样口应对着气流方向,对于非单向流洁净室,采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。
五、室内测试人员应穿洁净服,不得超过3人,测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止。进行换点操作时动作应轻,应减少人员对室内洁净度的干扰。
六、每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按下式计算平均粒子浓度:
式中:Xi——采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置;
Xi1至Xin——每次采样的粒子浓度;
n——在采样点i的采样次数。
- 采样点为1个时,应按上图计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时,应按上图计算各点的平均浓度后,再按下式计算洁净室(区)总平均值:
式中:X——各采样点平均值的总平均值;
Xi1至Xim——按式(C.1.6)计算的各个采样点的平均值,即洁净室(区)总平均值;
m——采样点的总数。
八、置信上限(UCL)的计算应符合下列规定:
1 当采样点只有1个或多于9个时,不计算95%置信上限。
2 采样点为1个以上10个以下时,除应根据本规范式(C.1.7)计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差:
3 应按下式计算总平均值的95%置信上限:
式中:t——分布系数,应按表1取值。
表1 95%置信上限(UCL)的t分布系数
采样点数m |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7~9 |
t |
6.3 |
2.9 |
2.4 |
2.1 |
2.0 |
1.9 |
4 每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95%置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室(区)已达到规定的空气洁净度等级。
测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试,应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果。