半导体晶圆传输机构主要由带轮支架、单槽带轮、双槽带轮及其他滑动轴承等。带轮支架是传输机构的载体，承载了整个传动结构，保证传输机构平稳运行。双槽带轮传输晶圆，单槽带轮主要是其传递动力。...