本套图纸是深圳某半导体厂房的竣工图纸，图纸包含空调设备规格表、风系统流程图、水系统流程图、风管平面图、水管平面图、高效过滤单元（FFU）平面布置图。此厂房车间有万级、千级、百级，还有一个十级的房间，洁
深圳某半导体洁净厂房空调图纸（含设计说明）_图1
深圳某半导体洁净厂房空调图纸（含设计说明）_图2
深圳某半导体洁净厂房空调图纸（含设计说明）_图3
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