一种半导体设备真空机械手
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上传:tumux_2370
2023-11-23
5分
一种应用于半导体设备的真空机械手，兼容高真空度，日本JEL品牌机械手，联动型设计，0~330°摆动角度，应用在晶圆搬运场合，单臂长260mm，机械手可伸出长度（不算手指）520mm，另附二维尺寸图纸，
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