用于200mm晶圆的半导体生产系统中的负载锁定和处理室隔离。特点：低震动；受保护的波纹管；寿命长；气动锁定（选项）；轻松更换门。阀体材料分别有：铝和不锈钢。该真空阀每种阀体材料共有4种配置：分别是A型